高精度三坐標測量機的精度是設備重要的評價指標，直接導致設備價格的差異。在選擇精度時，必須根據具體情況進行分析，不能盲目追求高精度，以免造成不必要的設備投資浪費。

根據經驗，我們將根據以下原則選擇設備精度。例如，產品圖紙的精度要求為+/-0.02mm。我們通常以公差的1/10作為選擇設備的基準。因此，2um的三坐標設備可以滿足此類公差帶的需要。當然，三坐標設備的精度也有后綴，A+L/B和L是測量長度的后綴。換句話說，隨著測量元素長度的增加，高精度三坐標測量機的精度線性降低。考慮到這一因素，我們還需要結合產品圖紙進行相應的調整。

這里要注意的一個問題是設備的精度和余量。

所謂精度余量，是指部分廠家對設備出廠精度的折扣，即高精度產品報告的精度相對較低，以保證設備長期使用后的測量精度。比如一臺機器的實際出廠精度是2um。如果給它30%的余量，產品目錄中介紹的出廠精度是2/(1-0.3)=2.9um；如果產品目錄中介紹的出廠精度為2u，則設備的實際出廠精度為2*(1-0.3)=1.4um。

目前，一些三坐標制造商根本不留下精度余量，而另一些制造商則留下30%的精度余量。因此，在評估設備精度時，應充分考慮精度余量，這與設備的長期可靠使用有關。